Japonská univerzita a Rigaku otevírají institut: Rentgenové paprsky odhalí skryté vady v čipech

Společnosti Rigaku a Univerzita Tohoku společně založily výzkumný institut zaměřený na rentgenovou metrologii. Institut, který zahájil činnost 1.

Společnosti Rigaku a Univerzita Tohoku společně založily výzkumný institut zaměřený na rentgenovou metrologii. Institut, který zahájil činnost 1. srpna na Univerzitě Tohoku v japonském Sendai, se bude po dobu tří let, s možností prodloužení, věnovat rozšiřování měřicích schopností rentgenových paprsků uvnitř pokročilých polovodičových struktur.

Tato iniciativa reaguje na rostoucí problémy v měření při výrobě čipů. Moderní zařízení obsahují stále menší prvky, více vrstev a rozmanitější materiály. Inženýři potřebují tyto struktury kontrolovat, aniž by je museli rozřezávat nebo poškozovat. Konvenční rentgenové techniky často nedokážou rozlišit nejmenší struktury nebo přesně zachytit změny v mnohovrstvých zařízeních. Nový institut bude zkoumat přístupy, které by tyto schopnosti rozšířily, zejména s ohledem na struktury pohřbené pod více materiálovými vrstvami.

Jedním z hlavních směrů výzkumu jsou měkké rentgenové paprsky, které mají nižší energii a delší vlnové délky než konvenční rentgeny. Univerzita Tohoku přináší do projektu významnou výhodu díky svému synchrotronovému zařízení NanoTerasu nové generace. Vědci budou moci využít jeho kapacity k prozkoumání struktur, které jsou pro běžné metody měření výzvou. Univerzita také přispěje odbornými znalostmi v oblasti informačních věd, což je klíčové pro analýzu stále složitějších dat generovaných rentgenovými měřeními. Společnost Rigaku zase přináší své zkušenosti s vývojem rentgenových analytických systémů a metrologických technologií. Partneři tyto schopnosti zkombinují k vývoji nových metod měření a zlepšení interpretace dat.

Počáteční výzkum se zaměří především na polovodičové aplikace, konkrétně na měření mikrostruktur pomocí měkkých rentgenových paprsků a pokročilou analýzu rentgenových dat. Práce by mohla v budoucnu podpořit měření i v jiných pokročilých materiálech, jako jsou elektronické a funkční materiály, které rovněž vyžadují detailní informace o mikroskopických strukturách a stavech materiálů. Institut má také za cíl školit budoucí výzkumníky a inženýry v pokročilé rentgenové metrologii, a to prostřednictvím univerzitních kurzů a stipendijního systému Rigaku. Kazuhiko Omote z Rigaku zdůraznil, že rentgenové záření i po 130 letech výzkumu stále skrývá mnoho neodhalených možností, a nová generace vědců bude hrát klíčovou roli v jejich objevení. Daichi Chiba z Univerzity Tohoku vidí institut jako místo setkávání různých disciplín a generací pro rozvoj nových myšlenek.